高温を扱う装置、特に半導体製造装置では、高温により金属部品が膨張し、寸法精度が低下します。そこで部品の表面に溶射で耐熱コーティングを行う事で、温度変化時の寸法精度を大幅に改善できます。
以下の画像は当社設計のサンプルリンクです。リンク本体の材質はアルミニウム合金で、その上に一定厚みの溶射コーティングを行います。また同一条件下でのシュミレーションを行いました。溶射コーティング無しのリンクに比べ溶射コーティング有りのリンクは熱膨張による変位を大幅に削減できます。
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